ГРАВЕРНОЕ ДЕЛО

Вакуумная установка — совокупность методов получения, поддержания и измерения вакуума в сосуде и применяемой при этом аппаратуры: вакуумных насосов, газопоглотителей, вакуумметров, соединительной и вспомогательной аппаратуры. Вакуумный насос — устройство для удаления газов и паров с целью получения вакуума.

С помощью насоса низкого вакуума под колпаком создают предварительное разрежение (форвакуум), после чего для удаления адсорбированных газов включают установки ионной бомбардировки. Для поддержания оптимального режима бомбардировки с помощью насоса регулируют количество газа в объеме открытием и закрытием вентиля насоса: сила тока возрастает — насос открывается, сила тока падает — насос закрывается.

При напылении особое внимание должно уделяться скорости откачки воздуха из камеры напыления и быстроте удаления газов выделяемых источниками испарения, хотя в реальных условиях всегда существуют течь через уплотнения и газоотдача с поверхности установки.

Скорость откачки зависит от материала подложки, например для пластмассовых подложек требуется повышенная скорость откачки. Высокая скорость откачки сокращает время рабочего цикла, а медленная откачка загрязняет вакуумные пленки, ухудшая их качество. Качество пленок повышается, если установка располагается в помещении с кондиционированным воздухом.

Процесс получения качественных пленок является сложным процессом, зависящим от правильности выбора материалов подложки и покрытия, шероховатости поверхностей, температуры подогрева подложки, толщины наносимой пленки, режимов процесса (скорости и длительности испарения), расстояния от подложки до испаряемого материала, качества вакуумных установок, совершенства контроля и т. д. Причем несоблюдение одного из вышеуказанных условий может привести к браку получаемого изделия.